日本再度允许光阻剂出口至韩国

据韩媒报道，日本政府再度对光阻剂发出出口许可，此举是日本祭出管制令来第2度允许光阻剂出口至韩国，而获得出口许可的对象为接获三星订单的日本厂商。

8月8日，日本政府首次审批了EUV 光刻胶和蚀刻气体的出口，得到审批的材料将供应至三星电子。EUV光刻胶或将出货至三星电子EUV制程华城工厂，蚀刻气体则出货至中国西安工厂。