三星、SK海力士最近说了啥?将影响下一代DRAM、NAND技术发展!
* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2020-09-18
据韩媒报道,日前,三星和SK海力士公开了其关于下一代半导体技术战略:三星计划批量生产全球首批采用GAA(Gate all around)技术的芯片,SK海力士将于明年在M16工厂的DRAM工艺中引入EUV。
三星若成功实现GAA技术量产,将在晶圆代工和3D NAND领域提高技术领先优势三星晶圆代工业务执行董事Kang Moon-soo表示,“我们为拥有全球领先的GAA技术而感到自豪,并计划量产全球首批采用GAA技术生产的产品。”
GAA技术是由目前业内广泛使用的Fin-FET技术演化而来的,其特点是实现了栅极对沟道的四面包裹,源极和漏极不再和基底接触,而是利用线状(可以理解为棍状)或者平板状、片状等多个源极和漏极横向垂直于栅极分布后,实现MOSFET的基本结构和功能。这样设计在很大程度上解决了栅极间距尺寸减小后带来的各种问题,包括电容效应等,再加上沟道被栅极四面包裹,因此沟道电流也比FinFET的三面包裹更为顺畅。在应用了GAA技术后,业内估计基本上可以解决3nm乃至以下尺寸的半导体制造问题。
目前,开始开发GAA技术的晶圆代工企业仅有三星、台积电和英特尔,因此,如果三星率先实现GAA技术的量产,将能取得一定的领先优势。
GAA技术不仅仅能促进晶圆代工技术的发展,在3D NAND领域也有重要作用。资料显示,GAA架构的3D NAND产品可实现出色的可靠性、可编程与读取性能更高、存储单元之间的屏蔽效果也更好。
SK海力士将在明年初采用EUV工艺量产1a nm级DRAM
此前,有媒体报道SK海力士将在M16工厂中引入EUV工艺,此次得到证实。SK海力士未来技术研究所负责人Lim Chang-moon表示,计划在第四代10nm级(1a)DRAM中应用EUV工艺,并目标在2021年初开始量产。
由于EUV工艺相较传统的DUV工艺在先进制程中可以减少制程数量,从而提升产品生产效率而被厂商积极采用。目前,三星已经在其DRAM制程中引入了EUV工艺。
然而,内存三巨头中的美光仍未任何采用EUV技术的消息,而三星和SK海力士率先实现DRAM EUV技术的量产将使韩国存储技术的领先地位进一步加强。