台积电EUV光刻机安装数量占行业一半

近日，台积电举行了年度技术研讨会，在会上透露了关于未来芯片制造业务的相关信息。根据台积电官方公布的信息，台积电现在占据了业界EUV（极紫外光）设备安装量的50%。并且台积电还拥有约60%的EUV晶圆累计产量。台积电官方表示，全新的N7+制程是该公司第一个利用EUV光刻技术的节点，并且N5制程将更加倾向于使用EUV光刻技术。另外，5nm以后的任何产品都将广泛采用EUV光刻技术。
ASML在台设立EUV技术培训中心，估计每年可为ASML和客户培育360位EUV技术工程师。
 台积电加速先进制程推进，近期扩大释单，累计EUV机台至2021年底将超过50台；相较之下，三星电子(Samsung Electronics)2021年还不到25台，且EUV POD(光罩传送盒)采购量远低于预期，从2大设备、零组件采购已可窥见台积电、三星制程与接单实力差距持续扩大中。另外，在记忆体制造领域，由于三星率先导入EUV制程以及DRAM产业竞争，外传可能促使美光考虑提早导入EUV制程时间，地点极可能为台中A3厂。2010年ASML提供首台EUV微影设备原型机给台积电进行研发工作，2017年再交付第一台量产型EUV微影系统TWINSCAN NXE:3400给台积电，写下商用EUV制程技术的新里程，英特尔(Intel)、三星也同时鸣枪起跑。3年后，7奈米以下先进制程大战胜负暂定，由台积电率先发布7奈米量产消息，2019年第2季N7+更领先量产，率先跨入EUV世代，5奈米更已如期在2020年第2季登场，除遭美方禁制令箝制的华为全面采用并扩大拉货力道外，苹果亦是主要大客户。
而值得注意的是，尽管台积电9月中后痛失华为大客户，7/5奈米产能缺口大开，但立即有超微(AMD)、苹果(Apple)、NVIDIA、联发科、高通、赛灵思(Xilinx)与中国大陆AI晶片业者迅速补上。为因应不断扩增订单，台积电7/5奈米等近期也全面扩产，同时由于订单掌握度相当高，亦已提前拉升2022年下半量产的3奈米月产能规划。据半导体供应链透露，台积电目前累计EUV设备采购规模已逾30台，光是5/3奈米据点的南科目前就达20台，比三星、英特尔现有EUV机台还要多。由于台积电制程推进相当顺利、且与苹果、超微、高通、联发科、NVIDIA、赛灵思达成代工协议，订单能见度相当高，因此近期持续大手笔投入5/3/2奈米设备投资，预估要价1亿欧元的EUV机台，至2021年底累计采购总量至少超过50台，估计可达55台上下。对比之下，三星不包含记忆体部门与前期原型机台，EUV设备累计采购量目前不到20台，据半导体业者估算，三星2021年仍不到25台。
值得注意的是，攸关客户数量的EUV POD采购量远低于预期，估计仅达台积电四分之一，甚至只有五分之一，由设备、零组件采购端来看，显见台积电、三星制程与接单实力差距持续扩大中。值得一提的是，英特尔先前坦言10奈米制程延迟、7奈米良率低于预期，已拟定委外代工等相关应变计划的投资，当时外界盛传台积电、三星将承接英特尔大单，未来英特尔恐将CPU、GPU全面委外代工。然据半导体业者表示，英特尔委外代工计划主要是将产能最适化，不会放弃生产业务，近期出乎预期大动作采购EUV等相关前段制程设备，同时亦扩大EUV POD采购量，光9月订单就超过前8月累计订单，显见英特尔正加快脚步实现7奈米如期在2022年下半或2023年初量产的目标，不过预估EUV设备至2021年底采购量仍不到20台。