ASML火警 恐影响台积电先进制程

光刻机全球霸主艾司摩尔（ASML）位于德国柏林工厂日前发生火警，目前正在进行调查和评估损失，有可能对台积电造成影响，ASML德国柏林工厂火灾对极紫外光（EUV）光刻机设备制造产生较大影响，EUV是台积电7奈米及以下先进制程使用设备，不排除因火灾而造成EUV零组件交期有所延后。光刻机（lithography systems）是生产晶片的关键装置，ASML在14奈米制程以下光刻机全球市占率为100％。