美光桃园厂全球首座采用EUV设备生产最新一代DRAM

美光去年底宣布斥资近70亿美元前往日本广岛设立12吋DRAM新厂后，去年底宣布与联电全球专利侵权撤案后，隔月即启动中国台湾桃园厂改造计划，决定将桃园厂打造成全球首座采用极紫外光（EUV）微影设备生产最新一代DRAM的生产基地。外界解读，这是美光看重中国台湾半导体产业在全球扮演的重要地位，美光目前是中国台湾最大投资外商。

美光同时网罗前英特尔大连厂研发主管卢东辉，接任台湾美光董事长，推动桃园厂升级及台中另一座新厂扩建二大重要投资。
美光不评论在桃园的相关投资计划。不过，稍早美光宣布，未来十年内将在全球投资超过1500亿美元，但预料未来主要投资案仍集中在台湾及新加坡等先进生产中心。
据调查，美光桃园厂的制程升级改造计划，由于必须拆掉原本向南亚科购买的旧厂，又不能影响既有12吋厂产线，工程难度极高，目前已由中鼎工程承包，并于去年12月进行迁装改建工程，预定明年7月完工。这个时间点正好是美光宣布与联电大和解后，约略看出美光在官司告一段落，加速启动制程升级行动，维系在DRAM制程超车三星的领先地位。
据调查，美光今年将密集加速桃园厂的升级改造工程，将导入十奈米世代中首次采用EUV微影设备的高阶制程，也是美光首次将EUV制程放在台湾。
明年七月完工后不仅将让美光每月产能增加一点五万片，同时也让美光在DRAM的技术再上层楼，扩大领先优势。
美光尚未透露桃园导入EUV制程改造计划投资金额，不过因EUV设计昂贵，估计耗资恐达近千亿元之高。
美光透露，过去三年平均每年在台投资30亿美元，而美光稍早才斥资新台币12.85亿元，买下电池芯厂商长泓能源位于中科后里园区6300坪厂房，如今又启动桃园厂升级改造行动，印证美光加码台湾脚步未停歇。