美光宣布最先进DRAM制程1 gamma将在台量产

美光新任中国台湾区董事长卢东晖博士6月10日于美光台中A3厂公布了工厂最新的发展讯息，同时也对媒体展示了生产线的实际运作情况。
在谈到未来美光记忆体发展的规划时，卢东晖表示，过去美光生产的记忆体技术，基本上都是来自岛外的研发，例如去年的1-Alpha以及今年即将上线的1-Beta制程DRAM，都是美国或日本研发出来后，才转移到台湾来进行生产，而未来使用到EUV设备来生产的1-gamma制程，则会时完全由台湾研发团队研发，可以说是土生土长的台湾技术。
这主要得益于他2月上任以后推动的DRAM技术研发通道，让台湾也能负责主要的制程研发工作，台湾制程人才可以说是全世界最丰富的，美光在台湾进行新DRAM制程的研发可以说是天时地利人和。
为了准备1-gamma制程，美光预计在今年底迎接其首部EUV设备；由于较早下订，所以应该不会是具备高NA技术、更高显影精细度、每小时生产晶圆片数可达200片以上的EXE：5000系列，而是EXE:3000系列的最新款式，可能是3600D，每小时可生产160片晶圆。
卢东晖强调，美光引入EUV设备其实算晚，三星和海力士都比美光更积极，早就引进EUV机台来生产DRAM产品。但美光透过在DUV机台上实现多重显影，在1-Alpha以及1-Beta的DRAM技术不论是在产品密度或者是成本，都要优于竞争对手，未来基于EUV的1-gamma也将拥有同样的竞争优势。
美光在未来产品布局方面，已经有超过3代的规划，而未来更将投入类似目前3D NAND的3D DRAM技术的研发。由于卢东晖过去在英特尔负责3D NAND的技术发展，相关技术方面有一定的类似度，由他来带领台湾美光，可预期未来台湾美光在先进DRAM制程的发展将扮演更重要的角色，未来可能不只负责1-gamma DRAM技术，更可能包办含3D DRAM在内等更先进的DRAM技术发展，让台湾不只是美光最重要的DRAM生产基地，同样也能成为最重要的DRAM技术研发基地。
而为了满足生产与研发能量需求，台湾美光未来两三年内将会雇用超过2000名新员工；为了装下更多的员工，美光也正积极猎地，准备建设更大的办公空间。