ASML可遥控停止EUV

5月22日消息，据外媒报道称，ASML声称可以远程瘫痪旗下售出的光刻机，这引来网友的围观。现在，报道中有给出了更多有趣的细节，比如ASML表示可以远程瘫痪（remotely disable）相应机器，包括最先进的极紫外光刻机（EUV）。
消息人士称，EUV需要频繁维护，如果没有ASML提供的备件，这些机器很快就会停止工作。此外，EUV的现场维护要求很高，它们被安置在无尘室内，需要工程师穿着特殊的套装以避免污染。
报道中还提到，ASML为某些客户提供联合服务合同，让其进行一些日常维护（对机器内部），但无法访问客户机器内的专有数据。
在这之前，ASML公司CEO就曾明确表示，目前公司没有理由不为已经出售给中国客户的设备提供服务，他们在中国安装的设备没有服务限制。
远距关闭功能适用于ASML的EUV设备，有如内建的“终止开关”（kill switch）。EUV每台售价超过2亿欧元（2.17亿美元），需要经常保养维修，要是没有ASML的零件，这些设备很快会停止运作。ASML的技术长期以来一直受制于政府的干预，以防止其落入有心人士之手。