极紫外光（EUV）光刻机难在在哪里？

ASML先进的标准型EUV光刻机拥有超过10万个零件，涉及上游5,000多家供应商，技术方面和生态系统极其复杂。这些零部件极为复杂，对误差和稳定性的要求极高，并且这些零件几乎都是定制的，90％零件采用的都是世界最先进的技术，其中85％的零部件是和供应链共同研发，甚至一些界面都要工程师用高精度机械进行打磨，尺寸调整次数更可能高达百万次以上。
目前ASML仍然是全球唯一的EUV光刻机供应商，虽然老牌的光刻机厂商：日本的尼康和佳能仍在发展相关业务，但也仅止步于深紫外光微影系统（DUV）。市场后续关注，在EUV技术路线发展受到欧美限制下，中国厂商将是持续投入资源，突破现有限制进行技术跟随；或是考虑投入资源另辟蹊径，寻找新的技术路径？
报导指出，近年美国不断透过荷兰政府施压ASML，要求ASML禁止向中国出售最先进的EUV光刻机。而后在美光背后推动下，荷兰2023年收紧对中国出口限制，并从今年1月1日起限制DUV设备，由于中国正在全境兴建晶圆厂，这项禁令让中国企业自去年年中以后加紧自ASML进口光刻机。