台积电迎来首台高数值孔径EUV设备 价格大幅调整

据半导体行业消息，中国台湾台积电将在9月接收首台高数值孔径极紫外光（High NA EUV）微影设备，预计最快将应用于A16纳米制程。

传闻中，High NA EUV设备价格高昂，一台超过100亿元台币。台积电在董事长兼总裁魏哲家和新任资材管理组织副总经理李文如等主管的协助下，成功将价格议价幅度降低了15%。

目前，该设备体积庞大，仍在研究如何安全运输到台湾及竹科厂区，包括如何通过园区高速公路，这些问题需要进一步解决。

阿斯麦（ASML）产品管理副总裁Greet Storms上周透露，公司现有的EUV客户已经下单采购High NA EUV设备，阿斯麦将与客户密切合作，力争在2026年实现量产。她表示，High NA EUV可以简化制程工序并提高能源效率，对客户来说具有显著的成本节约效益。

台积电曾对设备价格表示担忧。副共同营运长张晓强曾指出：“High NA EUV的性能很吸引人，但价格过于昂贵。”

不过，随着制程技术的不断进步以及台积电在供应链和客户谈判中的优势，首台High NA EUV设备的实际价格远低于之前预测的3.5亿欧元(约新台币126亿元)。台积电预计将在9月底前接收这台新设备，比外界猜测的年底时间提前了一个季度。