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佳能公司在纳米压印芯片制造技术上取得进展

* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2024-10-02
在半导体制造技术领域,日本佳能公司近期取得了显著进展。该公司已成功将首台纳米压印光刻机交付至美国德克萨斯州的电子研究所,该研究所将利用这一设备进行芯片制造技术的研发工作。
佳能的纳米压印光刻技术是一种创新方法,它不依赖于传统的光源,与荷兰阿斯麦公司生产的极紫外线光刻机(EUV)相比,具有成本效益和能效优势。去年10月,佳能宣布了将纳米压印光刻技术商业化的计划,并推出了名为FPA-1200NZ2C的设备。
德克萨斯州电子研究所是一个由德克萨斯大学奥斯汀分校以及多家芯片公司和其他公共部门及学术机构支持的半导体联盟,成立于2021年。佳能交付的纳米压印光刻机将用于该研究所的先进半导体研发和原型生产。
佳能表示,其纳米压印工艺不仅成本较低,而且功耗也低于传统光学方法。该技术避免了使用极紫外线波长的光源,这是阿斯麦最新设备中的一个技术难点。
此次交付标志着佳能在半导体制造设备领域迈出了重要一步,有望为芯片制造行业带来新的技术选择。随着技术的进一步发展和应用,佳能的纳米压印光刻机可能会对全球半导体制造业产生深远影响。