曝光机的意外挑战：台积电防地震，英特尔避牛场

曝光机是全球半导体制造的关键设备，而荷兰公司阿斯麦（ASML）凭借其EUV（极紫外光刻机）技术在行业中占据主导地位。这些设备的价格高昂，每台售价从1.7亿美元到3.7亿美元不等，堪称先进芯片制程的核心工具。然而，正因其复杂和敏感，曝光机在实际使用中面临着各种意想不到的挑战，比如地震和环境气体干扰。
据《华尔街日报》报道，台积电将地震视为主要威胁，而英特尔则因附近农场乳牛产生的甲烷问题吃过亏。英特尔曾发现，厂区附近的乳牛场每天释放的大量甲烷气体，在凌晨特定风向的影响下，通过空气净化系统进入无尘室，导致EUV曝光机效率下降。这一经历让英特尔意识到，不应将晶圆厂选址在牛场附近。
阿斯麦的EUV设备从实验室研发到工厂量产经历了数十年的时间。2010年，阿斯麦交付了第一台EUV设备，2022年出货量已达到42台。尽管设备昂贵且技术复杂，EUV光刻机已成为先进制程芯片生产不可或缺的一部分。目前，全球仅有6家公司拥有这些设备，包括台积电、英特尔和三星电子，其他厂商则通过代工方式间接依赖阿斯麦的技术。
正如荷兰记者Marc Hijink在其著作《Focus: The ASML Way》中所描述，客户希望EUV设备能够昼夜不停地工作，但中断是不可避免的。比如台积电对地震的高度防范，以及英特尔应对甲烷干扰的经验，都说明了高端芯片制造过程中，环境因素对设备运行的重要影响。
虽然EUV设备故障相对罕见，但作为芯片制造的关键环节，每一次中断都可能对生产造成重大影响。这也是阿斯麦在全球各地配置大量员工的原因，确保设备在任何情况下都能迅速恢复运行。