ASML高价EUV光刻机：价值可比三架F - 35却有两大隐患

半导体设备制造领域的佼佼者阿斯麦（ASML）推出了新一代高数值孔径极紫外光（High NA EUV）光刻机。这台设备的价格极其高昂，最高可达3.7亿美元，这个价格差不多能购买三架F - 35战斗机了。然而，这台昂贵无比的光刻机却存在着两个致命的弱点。
华尔街日报的专栏作家柯恩（Ben Cohen）跟随阿斯麦的工程师霍尔（Brienna Hall），深入探究阿斯麦精密设备的维护工作以及维修工程师的作业流程。
霍尔是被阿斯麦派往美光的机械工程师，主要负责维护EUV光刻机。目前，EUV光刻机的单台价格在1.7亿至3.7亿美元之间不等。
柯恩表示，EUV光刻机堪称现代工程领域的一大奇迹，它有两个非常突出的特点：其一，阿斯麦与德国光学企业蔡司共同研发的镜片，如果把镜片放大到和整个德国一样大的面积，整个镜面的误差不会超出1毫米；其二，EUV光刻机的精准度极高，就好比从房屋发射激光束，并且要在月球上打乒乓球一样。
阿斯麦最先进的EUV光刻机的客户有中国台积电、英特尔和三星等。据了解，台积电已经在去年年底在其新竹总部附近的研发中心安装了最新的High NA EUV光刻机，比竞争对手英特尔晚了数月。
为了保证这些价值极高的EUV光刻机能够正常运行，阿斯麦雇佣了上万名工程师组成全球性的后勤团队来为客户提供协助。即便有如此完备的支持体系，偶尔还是会有一些突发状况发生。对于台积电来说，地震是需要重点担忧的因素，因为地震可能会导致晶圆破裂；而英特尔担心的则是风向的变化。
英特尔之前在调查光刻机产能出现异常情况时，意外发现原来是工厂外饲养的数百头奶牛惹的祸。原来，附近农场的牛群每天放屁会产生大量的甲烷气体，由于风向的改变，甲烷通过空气净化器进入无尘室，从而影响了光刻机的效能。英特尔从这件事情中吸取了教训，避免在牧场周边建造晶圆厂。
柯恩强调，除了这类比较罕见的事件之外，光刻机的故障率是非常低的。如果整个晶圆厂停产了，阿斯麦已经做好了备份应急措施，世界各地都有工程师常驻，全力帮助客户尽快恢复生产作业。