SK海力士引入Infinitesima的Metron 3D 300mm系统，推动先进DRAM制造

近日，半导体设备制造商Infinitesima宣布其Metron3D 300mm在线晶圆量测系统已被SK海力士采用，并正式投入量产。这款先进的系统为SK海力士次世代存储器元件的制造提供了至关重要的次纳米精度三维(3D)制程控制。
在经过一系列深入评估和将系统应用于多个制程步骤特性分析后，Metron3D以其卓越的次纳米三维量测能力获得了认可。SK海力士DMI（缺陷分析、量测与检测技术）部门负责人崔永铉指出：“在先进DRAM制程中，纳米级的三维制程控制对于确保高良率变得日益重要。Infinitesima的Metron3D不仅展示了出色的次纳米三维量测性能，而且其拥有成本符合高产量制造(HVM)的要求。”
Metron 3D采用了Infinitesima独有的快速探针显微镜(RPM)技术，能够实现比传统原子力显微镜(AFM)快10到100倍的量测产能。此外，该系统还具备全自动化的晶圆、数据及探针处理能力，非常适合用于半导体器件的在线量产制程。此次投资于这一量测解决方案，体现了SK海力士在计算机存储器研发与制造上持续保持技术领先地位的决心。
Infinitesima总裁兼首席执行官Peter Jenkins表示：“我们非常高兴能与SK海力士合作；他们的支持与指导促成了我们Metron3D系统的快速认证，并成功导入高产量制造(HVM)。”这次合作不仅是对Infinitesima技术的认可，也为未来更高效、更精准的存储器制造工艺铺平了道路。
通过引入这样尖端的技术，SK海力士不仅加强了自身在全球半导体行业的竞争力，同时也为整个行业树立了一个新的标杆，预示着未来存储器制造技术的发展方向。随着人工智能、数据中心以及各类智能设备需求的增长，这种技术创新显得尤为重要。它不仅提高了生产效率，还保证了产品的高质量标准，满足了市场日益增长的需求。