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半导体业拚EUV 三星、SK海力士、美光等三大DRAM厂的EUV竞赛已经开跑

* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2020-09-24
全球五大半导体厂建置EUV全新生产线,相关设备业者接单满载。
半导体先进微影技术由浸润式(immersion)转向极紫外光(EUV)势不可挡,包括英特尔、台积电、三星、SK海力士等全球前四大半导体厂已开始全面导入EUV技术并建置全新生产线,第五大厂美光亦传出加速评估在DRAM制程采用EUV技术,不仅艾司摩尔(ASML)EUV曝光机产能满载到2022年之后,法人看好家登(3680)、帆宣(6196)、崇越(5434)、翔名(8091)、公准(3178)等EUV概念股接单旺到明年。
在逻辑制程部份,台积电、三星晶圆代工在去年已开始采用EUV技术量产7奈米制程,今年底前两家业者也开始量产EUV光罩层数倍增的5奈米。英特尔则预期导入EUV的7奈米制程明年进入生产。其中,台积电在EUV布局大幅领先同业,已成为全球拥有最大EUV产能的半导体厂,南科Fab 18A厂将在明年上半年完成月产能达9万片的5奈米产能建置,Fab 18B厂预期会在2022年量产EUV光罩层逾20层的3奈米。
在DRAM制程的部份,包括三星、SK海力士、美光等三大DRAM厂的EUV竞赛已经开跑。三星1Z奈米开始采用EUV技术,今年3月宣布基于EUV的10奈米DDR4出货逾百万颗,8月再宣布平泽P2厂导入EUV技术量产16Gb LPDDR5。
SK海力士已评估在1a奈米采用EUV技术,利川M16厂预期明年上半年量产基于EUV的DDR5。美光则加速评估EUV导入时间及制程节点,预期2021年规划在台湾兴建的A5厂可能会建置EUV产线。
全球前五大半导体厂转向EUV,推升ASML的EUV曝光机接单满到2022年之后,ASML第二季底在手EUV曝光机订单已达54台,业界估计今年底有机会上看70台。法人看好EUV机台次系统模组代工厂帆宣、精密零件供应商公准等下半年接单畅旺,订单能见度看到了明年下半年。
此外,台积电、三星、英特尔等大厂持续扩建EUV产能,且制程微缩至5奈米及3奈米的EUV光罩层数倍数增加,提供EUV光罩盒(EUV Pod)的家登受惠最大,今、明两年产能均已被大客户预订一空,打进EUV Pod表面处理及镀膜制程的翔名同步受惠。至于EUV产能大幅提高,代理EUV光阻液的崇越接单畅旺,订单同样排到明年下半年。