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消息称三星自行研发EUV光罩护膜,预计2022年底量产

* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2021-10-19
据韩媒报导,三星日前于Foundry Forum 2021宣布,预定2022年上半展开EUV光罩护膜质量测试,2022年底开始量产。尽管三星分别投资659亿韩元(约5,500万美元)、430亿韩元给韩厂S&S Tech与FST开发EUV护膜,仍将自行量产,以确保供货稳定。
消息称三星综合技术院(SAIT)约自5年前开始研发EUV护膜,但是在透光率、耐久性等方面,尚未达到可实际导入制程的水平。
随着EUV护膜技术完成度日益提高,三星订立2022年底量产目标,并可能同时向S&S Tech、FST、ASML及三井化学采购,确保EUV护膜多方供应来源。
半导体超微缩制程EUV用光罩单价高达数亿韩元,需使用护膜减少灰尘等损伤,但是因EUV设备在制造原理上,易产生光损失,须确保EUV护膜透光率达90%以上,才能将光损失降至最小。如三星成功引进EUV护膜,将有助于控制生产成本。
除三星之外,有消息称台积电也自制EUV光罩护膜。而全球唯一EUV供应商ASML的光罩护膜是交由日本厂商三井化学量产。