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英特尔采用ASML最新高数值孔径极紫外光EUV曝光机

* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2024-04-29
半导体大厂阿斯麦ASML推出最新高数值孔径极紫外光EUV曝光机,马上被英特尔采用,但中国台湾台积电仍在观望。外媒认为此事将是英特尔重拾霸主地位的狭窄破口,如同当年英特尔并未马上抢进第一代EUV机台,而台积电大举投资EUV设备。
美国科技媒体wccftech报导,英特尔打算在18A(1.8纳米)制程中试验ASML的高数值孔径极紫外光EUV技术,甚至考虑直接应用在14A(1.4纳米)的制造流程中。
相较之下,台积电并未跟进,原因可能是考量每台高数值孔径EUV微影机的高昂成本,每台售价高达3.85亿美元(约新台币125.58亿)相当可观。
外媒示警,台积电可能会重蹈英特尔的覆辙,先前英特尔就因为保守的财务政策,推迟大举投资EUV机台的时间点,台积电则在那区间大举投资,一下子就拉开技术差距,收获甜美果实。
即使如此,外媒也提到,英特尔执行长季辛格(Pat Gelsinger)将逆转胜的关键寄托在最新的EUV机台,其实部分成本是由美国人共同承担,英特尔拿到巨额芯片法案补助,让英特尔将成本社会化,当然后续成果也受到美国社会高度检视。