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极紫外光(EUV)光刻机难在在哪里?

* 来源 : * 作者 : admin * 发表时间 : 2024-06-07
ASML先进的标准型EUV光刻机拥有超过10万个零件,涉及上游5,000多家供应商,技术方面和生态系统极其复杂。这些零部件极为复杂,对误差和稳定性的要求极高,并且这些零件几乎都是定制的,90%零件采用的都是世界最先进的技术,其中85%的零部件是和供应链共同研发,甚至一些界面都要工程师用高精度机械进行打磨,尺寸调整次数更可能高达百万次以上。
目前ASML仍然是全球唯一的EUV光刻机供应商,虽然老牌的光刻机厂商:日本的尼康和佳能仍在发展相关业务,但也仅止步于深紫外光微影系统(DUV)。市场后续关注,在EUV技术路线发展受到欧美限制下,中国厂商将是持续投入资源,突破现有限制进行技术跟随;或是考虑投入资源另辟蹊径,寻找新的技术路径?
报导指出,近年美国不断透过荷兰政府施压ASML,要求ASML禁止向中国出售最先进的EUV光刻机。而后在美光背后推动下,荷兰2023年收紧对中国出口限制,并从今年1月1日起限制DUV设备,由于中国正在全境兴建晶圆厂,这项禁令让中国企业自去年年中以后加紧自ASML进口光刻机。